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Cromatografia agli ioni di elio per l'analisi del tetrafluorocarbono
Lo spettrometro agli ioni di elio è adatto al rilevamento di tracce di impurità nei gas industriali elettronici, con una piccola concentrazione di ril
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- Descrizione del prodotto
Cromatografia agli ioni di elio per l'analisi del tetrafluorocarbonoDotato di rilevatori di ionizzazione dell'elio ad alta sensibilità, con tecnologia di taglio centrale Huawei, le valvole di campionamento sono dotate di canali di protezione da soffiatura; L'intera macchina è progettata con più colonne e dotata di un sistema di correzione automatica della pressione di campionamento per garantire la quantità di campionamento dei campioni di diversi gas sottostanti. I prodotti sono stati premiati con il progetto di trasformazione di livello A per i risultati di alta tecnologia di Shanghai.
| Progetto | Indicatori | ||
| Tetrafluorocarbono (CF)4Purezza (Frazione di volume) / 10-2≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| Azoto (N)2Contenuto (Frazione di volume)/10-6＜ | 4 | 20 | 40 |
| Ossigeno + Argone (O)2+ Ar) Contenuto (Frazione di volume) / 10-6＜ | 1 | 5 | 10 |
| Diossido di carbonio (CO)2Contenuto (Frazione di volume)/10-6＜ | 1 | 5 | 10 |
| Contenuto di monossido di carbonio (CO) / 10-6＜ | 0.1 | 0.5 | 1 |
| Sesfluoruro di zolfo (SF)6Contenuto (Frazione di volume)/10-6＜ | 1 | 1 | 5 |
| Umidità (H)2O) Contenuto (Frazione di volume) / Contenuto, 10-6＜ | 3 | 5 | 10 |
| Contenuto di acidità (HF) in frazioni di volume/10-6＜ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| Altri alocarboniaContenuto (frazioni di volume)/10-6＜ | 1 | 10 | 30 |
| Contenuto totale di impurità (frazione di volume) / l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
| Particelle | La domanda e l'offerta concordano | La domanda e l'offerta concordano | La domanda e l'offerta concordano |
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Altri alocarboni includono: esafluoroetano, ottafluoropropano, ecc.
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